Werth復(fù)合式三坐標(biāo)測量機(jī)的測量范圍從幾十個毫米到數(shù)米，測量精度從幾個微米到百個納米級別。可使用的各種測量傳感器有WERTH光學(xué)測頭、WERTH光纖測頭、激光、激光線掃描、快速激光、色敏測頭、接觸式單點、接觸式掃描測頭、WERTH CT(X光高精度)測頭等十多種。
三坐標(biāo)測量機(jī)在進(jìn)行測量操作時，對工件幾何形體的要素要把控好，主要有四大要素即檢測對象、計量單位、測量方法和測量精度，通常被稱為測量過程中的四要素。被測量對象的結(jié)構(gòu)特征和測量要求在很大程度上決定了測量方法，測量方法是指測量時所采用的計量器具和測量條件，在這里就是指三坐標(biāo)測量機(jī)。測量精度是指測量結(jié)果與其真值的一致程度。
1.被測對象
包括工件的長度、角度、形狀、相對位置和表面粗糙度等。就被測量工件而言，應(yīng)考慮到它的大小、重量、批量、精度要求、形狀復(fù)雜程度和材料等因素對測量的影響。
2.計量單位
是指用以定量表示同種量值而約定采用的特定量。在已頌布的法定計量單位中，幾何量中長度的基本單位為米(M)，平面角的角度單位為弧度(rad)及度，分，秒。機(jī)械制造中常用毫米作為計量單位。在精密測量中采用微米來計量。在三坐標(biāo)測量機(jī)取值中，測量的對象尺寸基本上處于毫米級以上，所以采用毫米作為計量單位，有時候根據(jù)要求準(zhǔn)確到微米級或亞微米級。
3.測量方法
測量方法是根據(jù)提定的測量原理，在實際測量中運應(yīng)該測量原理和實際操作方法，以獲取測量數(shù)據(jù)和測量結(jié)果。
4.測量精度
是指被測幾何量的測量結(jié)果與其真值相一致的程度。在測量過程中，由于各種因素的影響，不可避免地會產(chǎn)生或大或小的測量誤差。
